第17章 光刻机的心脏病

狂欢的海洋因林天一句话而冻结。
马文博高举着林天的动作僵在半空，脸上的狂喜迅速褪去。
“眼睛不够亮，心脏跳得不够快。”
这句奶声奶气的评价，也像一盆冰水，浇灭了在场所有人的热情。
马文博缓缓将林天放下，蹲下身，视线与他齐平，语气前所未有的郑重：“林总工，请您指示。”
整个光刻机调试大厅，数百名顶尖专家学者，鸦雀无声，所有人的目光都汇聚在这个三岁的孩子身上。
“抱我过去看看。”林天指了指那台价值连城的庞大机器。
一名离得最近的工程师立刻上前，小心翼翼地将林天抱起，稳稳地托着他走向光刻机的核心部位——那套被重重保护的光学透镜组。
林天的小脸几乎贴在了防尘玻璃上，他伸出胖乎乎的手指，点在玻璃上，正对着一组内部的复杂镜片上。
“眼睛，就是这里。”
此时，国内光学界当之无愧的泰斗，白发苍苍的张教授，忍不住上前一步，低声道：“林总工，这套定制的非球面镜组，已经是全球最高精度的镜组，材料也是热膨胀系数最低的特种石英玻璃……”
“不够。”林天奶声奶气的声音打断了张教授的发言。
“极紫外光不是小小的手电筒，它更像是炮弹。每一发光子打在镜片上，都会产生热量。所以这组镜片在光刻过程中，会发生纳米级的热形变。”
纳米级形变！
张教授和他的团队脸色剧变。
这个词像一道惊雷劈在他们心头。
这是他们团队耗费数年，用尽一切手段都无法完全消除的终极难题，是限制精度的魔鬼。
他们一直以为，这已经是物理定律的边界。
“所以，眼睛不够亮。”林天下了结论，“图案投射出去，边缘是虚的，像近视眼没戴眼镜。”
“那……那该怎么办？”张教授的声音都在发颤，这是他一生追求的东西。
林天的小脸上露出一丝不符合年龄的深邃：“换材料。用‘准晶格超稳定材料’做镜片，再配上一套‘自适应光学系统’，实时动态校正。”
“准晶格材料？！”张教授失声惊呼，像是听到了不可思议的事。
准晶格，是一种介于晶体和非晶体之间的神奇结构，理论上拥有完美的各项同性与近乎为零的热膨胀系数。但它的制备难度，堪称材料学的地狱模式！
“林总工，制备光学级的准晶格材料，全世界都没有先例，这……这恐怕需要数十年！”
“不用。”林天摇了摇头，从工程师怀里拿过自己的奶瓶，嘬了一口，“几周就够了。还记得我搓的那个‘泥巴’吗？”
众人一愣。
“用‘富勒烯分子编织’技术，原理是通的。”
一句话，让在场的李院士眼神瞬间狂热起来！
又是这样！又是这种跨越学科的降维打击！
用制备超导材料的思路，去解决光学材料的难题！
这是何等恐怖的知识储备和思维广度！
没等众人从“换眼睛”的震撼中回过神，林天又拍了拍工程师的肩膀，示意他把自己带到设备的核心工作台前。
“心脏，是这里。”他指着那个承载晶圆、进行亿万次超高精度移动的工作台。
“它的问题不是慢，”林天解释道，“是抖。”
“抖？”负责机械控制的刘教授一脸茫然，“林总工，这下面是全球最顶级的气浮减震平台，与地面是完全隔离的，理论上……”
“理论上。”林天重复了一遍，带着一丝嘲弄，“你们的气垫，隔绝了地震，隔绝了卡车路过。但隔绝不了‘量子谐振噪声’。”
又是一个全新的名词。
刘教授和他的团队面面相觑，满眼都是问号。
“空气也是原子组成的，气垫里的气体分子在无规则运动，每一次撞击，都会产生极其微弱的振动。在纳米尺度下，这种振动就是一场持续不断的八级地震。这颗心脏，也就像得了帕金森一样，一直抖个不停。”
刘教授的脸“唰”一下白了。
他明白了。
这是他们永远无法跨越的物理极限，是气浮技术的原罪！
绝望，再次笼罩全场。
解决了光学问题，又来了个更无解的机械难题。
“所以，不要用气了。”林天语出惊人。
“不用气？那用什么？”
“用磁铁，让它浮起来。”
林天从工程师身上滑下，哒哒哒跑到一块白板前。
马文博心领神会，再次将他抱

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